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白光干涉仪和激光干涉仪有何区别

日期:2020-07-31 来源:上海泉田机电有限公司 浏览次数:

      激光干涉仪和白光干涉仪虽然都同属于干涉仪这个大类,但是两者的区别可大了!下面泉田机电带大家来看看两者到底有什么区别。


      激光干涉仪


      激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理:


(1) 从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束(圆偏振光)通过分光镜后,将分成两束激光(线偏振光);


(2) 两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光(红色线条)返回,通过分光镜后进行叠加,由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定,即满足干涉条件;


(3) 角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离,将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。


根据激光干涉仪的原理,我们可以清楚知道,激光干涉仪是用来检测设备的运动精度的,SJ6000激光干涉仪目前在机床、直线电机、滑台、模组、自动化设备、机器人等领域应用。


      白光干涉仪


      白光干涉仪以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。


      白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。SuperView W1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


      以上就是泉田机电小编给大家分享的激光干涉仪和白光干涉仪的区别,上海泉田机电有限公司是一家集销售精密测量仪器及售后服务于一体的专业服务商。公司成立于2012年,我们始终坚持秉承“技术先进、服务完善"的经营理念,以优秀的技术人才为基础,凭借丰富的测量经验和雄厚的技术力量,结合国际上的先进技术,为您提供完整的测量解决方案、优质的专业设备等综合服务。欢迎新老客户来电咨询,联系电话:021-67851559 ;021-67851589



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